ตาข่ายขยายรูไทเทเนียม 2 * 3 มม. พร้อมการเคลือบ Ir - Ta สำหรับการชุบเซมิคอนดักเตอร์

ตาข่ายขยายรูไทเทเนียม 2 * 3 มม. พร้อมการเคลือบ Ir - สำหรับการชุบเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจากแผ่นไทเทเนียมบริสุทธิ์เชิงพาณิชย์เกรด ASTM B265 เกรด 1 ซึ่งแตกต่างจากตาข่ายประทับตรา โครงสร้างแบบขยายจะสร้างช่องเปิดรูปทรงเพชร-ต่อเนื่อง-ในที่นี้ระบุเป็น 2 มม. × 3 มม.- โดยไม่มีการสูญเสียวัสดุหรือรอยตัดกัน โดยรักษาความต้านทานการกัดกร่อนโดยกำเนิดของซับสเตรตไทเทเนียมและความสมบูรณ์ของโครงสร้าง ขั้นตอนการขยายจะวางแนวเกลียวในมุมที่ควบคุม เพื่อเพิ่มพื้นที่ผิวที่มีประสิทธิภาพในขณะที่ยังคงการกระจายกระแสที่สม่ำเสมอทั่วทั้งหน้าขั้วบวก สำหรับการชุบเซมิคอนดักเตอร์ รูปทรงนี้จะแปลโดยตรงเป็นการไหลของอิเล็กโทรไลต์ที่เสถียรผ่านอิเล็กโทรด การกักเก็บฟองอากาศให้เหลือน้อยที่สุด และเส้นสนามไฟฟ้าที่สม่ำเสมอ ทั้งหมดนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุความสม่ำเสมอของการชุบที่ต่ำกว่า-ไมครอนบนพื้นผิวเวเฟอร์- หลังจากการขยายตัว ตาข่ายจะต้องผ่านการขจัดไขมันด้วยอัลคาไลน์อย่างเข้มงวดและการกัดกรดเพื่อกำจัดออกไซด์ดั้งเดิม เพื่อให้แน่ใจว่ามีการยึดเชิงกลสำหรับการเคลือบ-โลหะออกไซด์ผสมในภายหลัง

การเคลือบอิริเดียม-แทนทาลัม (Ir-Ta) ออกไซด์ถูกนำไปใช้ผ่านการสลายตัวด้วยความร้อนของเกลือของสารตั้งต้น ทำให้เกิดขั้วบวกที่มีความเสถียรเชิงมิติ (DSA) ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการวิวัฒนาการของออกซิเจนในอิเล็กโทรไลต์ที่มีกรดซัลฟิวริก-ซึ่งมีคลอไรด์ปริมาณเล็กน้อย-ซึ่งเป็นคุณสมบัติทางเคมีที่แน่นอนที่พบในอ่างชุบทองแดงแบบเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง. 2*ตาข่ายขยายรูไทเทเนียมขนาด 3 มม. การเคลือบ Ir-Ta สำหรับการชุบเซมิคอนดักเตอร์ให้วิวัฒนาการของออกซิเจนที่มีศักยภาพสูงต่ำเพียง 1.385V เมื่อเทียบกับอิเล็กโทรดอ้างอิงแบบเมอร์คิวรัสซัลเฟต ซึ่งช่วยลดแรงดันไฟฟ้าของเซลล์และการใช้พลังงานโดยตรงในการดำเนินการชุบแบบย้อนกลับเป็นระยะแบบพัลส์ (PPR) สูตร Ir-Ta มีความต้านทานที่เหนือกว่าต่อการละลายขั้วบวกภายใต้พัลส์-กระแส-ความหนาแน่นสูง ซึ่งพบได้ทั่วไปในกระบวนการดามาซีนของทองแดง ซึ่งการเคลือบที่มีรูทีเนียม-จะประสบกับการย่อยสลายแบบเร่ง

นอกจากนี้ ส่วนประกอบแทนทาลัมออกไซด์ยังทำให้โครงสร้างการเคลือบมีความเสถียร โดยยืดอายุการใช้งานได้เกินกว่า 36 เดือนภายใต้วงจรการชุบฟูเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไป-ถึง- ล็อตตาข่ายแต่ละล็อตได้รับการตรวจสอบด้วยระบบวิชันซิสเต็มอัตโนมัติระหว่างขั้นตอนการทำให้เรียบและการเก็บผิวละเอียด ซึ่งรับรองความทนทานต่อความหนาภายใน ±0.05 มม. และเสี้ยนที่ขอบ-โปรไฟล์ฟรีที่เข้ากันได้กับการจัดการเครื่องมือชุบอัตโนมัติ ผลลัพธ์ที่ได้คือขั้วบวกอิสระ-ที่ปนเปื้อนซึ่งรักษาความเสถียรของมิติ กำจัดการไหลของอนุภาค และช่วยให้สามารถชุบประสิทธิภาพการชุบที่มีความบริสุทธิ์สูง-ซ้ำได้ซึ่งจำเป็นสำหรับการเคลือบโลหะที่เชื่อมต่อระหว่างกันขั้นสูง

ความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือกว่าในคลอไรด์-ที่มีกรดซัลฟิวริก

ส่วนประกอบแทนทาลัมออกไซด์ทำให้เมทริกซ์การเคลือบมีความเสถียรต่อการโจมตีของขั้วบวกในอิเล็กโทรไลต์ที่มีคลอไรด์ติดตาม ซึ่งเป็นสารเติมแต่งมาตรฐานในเคมีการชุบทองแดงขั้นสูง สารตั้งต้นไทเทเนียมยังคงผ่านกระบวนการพาสซีฟอย่างสมบูรณ์ ช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของทองแดงจากโลหะฐานที่ละลาย

ลดการกักฟองและการขนส่งมวลชนที่ดีขึ้น

โครงสร้างตาข่ายแบบเปิดช่วยให้ฟองออกซิเจนที่พัฒนาแล้วแยกตัวออกจากพื้นผิวอิเล็กโทรดได้อย่างรวดเร็ว ช่วยลดความต้านทานของชั้นขอบเขตและรักษาการไหลของอิเล็กโทรไลต์ที่สม่ำเสมอ ตัวเลือกตาข่ายประทับตราหรือแผ่นแข็งแสดงการกักเก็บก๊าซที่สูงกว่า ส่งผลให้การบังเฉพาะที่และการชุบไม่-สม่ำเสมอ

การปนเปื้อน-การดำเนินการฟรี

ทั้งซับสเตรตไทเทเนียมและการเคลือบ Ir-Ta นั้นเฉื่อยภายใต้สภาวะการชุบ ไม่มีตะกั่ว พลวง หรือสายพันธุ์ที่ละลายน้ำได้อื่นๆ ถูกปล่อยเข้าไปในอิเล็กโทรไลต์ ทำให้ไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนถุงแอโนดเป็นระยะๆ และลดข้อบกพร่องของอนุภาคในลักษณะที่ต่ำกว่า 10μm

 

ความทนทานต่อความหนาและขอบไร้เสี้ยน-

 

การราบเรียบและการตกแต่งขั้นสุดท้าย-จะถูกควบคุมด้วยระบบวิชันซิสเต็มอัตโนมัติ โดยยึดความหนาไว้ที่ ±0.05 มม. ของค่าปกติ และรับประกันว่าขอบเกลียวทั้งหมดจะถูกลบคมออก ซึ่งช่วยลดความเสียหายทางกลต่อตัวแยกเมมเบรนหรือเครื่องมือจัดการแผ่นเวเฟอร์

ยืดอายุการใช้งาน

การทดสอบอายุการใช้งานแบบเร่ง (ALT) ต่ำกว่า 2 A/ซม.² ใน 1.5 M H₂SO₄ ใช้งานได้นานกว่า 36 เดือนของการทำงานต่อเนื่องอย่างต่อเนื่อง โดยมีการเสื่อมสภาพของสารเคลือบที่ระบุโดยแรงดันไฟฟ้าที่เพิ่มขึ้นมากกว่าความล้มเหลวที่เกิดจากภัยพิบัติ ทำให้สามารถกำหนดตารางการบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้

พารามิเตอร์ทางเรขาคณิตที่ปรับแต่งได้

 

ในขณะที่ระบุว่าเป็นช่องเปิดขนาด 2 มม. x 3 มม. กระบวนการตาข่ายแบบขยายช่วยให้สามารถควบคุมความกว้างของเกลียว มุมเปิด และเปอร์เซ็นต์พื้นที่เปิดได้อย่างอิสระ ทำให้สามารถเพิ่มประสิทธิภาพสำหรับการออกแบบเครื่องมือชุบเฉพาะและข้อกำหนดการไหลของของไหลโดยไม่ต้องเสียค่าใช้จ่ายในการปรับแต่งเครื่องมือ

• ดามัสกัสทองแดงสำหรับโหนดลอจิก – การประกอบแอโนดในเครื่องมือชุบ 300 มม. สำหรับการเติมช่องว่าง-ด้านล่างฟรี- ของร่องลึกต่ำกว่า 10 นาโนเมตร ตาข่ายที่ขยายช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายกระแสที่สม่ำเสมอภายใต้รูปคลื่น PPR

• การเติม-ซิลิคอนผ่าน (TSV) – แอโนดแบบขวาง-เต็ม-ในห้องแนวตั้งสำหรับอัตราส่วนภาพ 10:1–20:1; รักษาการวิวัฒนาการของออกซิเจนที่เสถียรในระหว่างรอบ-กระแสไฟฟ้า-ความหนาแน่นสูงที่ขยายออกไป

• บรรจุภัณฑ์ระดับการกระจายชั้น (RDL) บนแผง- – ระบบการชุบด้วยไม้พายแนวนอน ช่องเปิดขนาด 2×3 มม. ช่วยให้สามารถหมุนเวียนอิเล็กโทรไลต์ได้อย่างต่อเนื่อง<3% thickness variation across 600mm substrates.

• ใต้-bump metallization (UBM) สำหรับฟลิป-ชิป – การควบคุมกระแสแบบแบ่งส่วนในเครื่องมือการชุบแบบเลือกสรร สารเคลือบทนทานต่อรอบการทำความสะอาดแบบย้อนกลับเป็นระยะๆ โดยไม่ทำให้ประสิทธิภาพลดลง

• วัสดุพิมพ์ติดตามแบบฝัง (ETS) การเชื่อมต่อระหว่างกันที่มีความหนาแน่นสูง- – เครื่องเพลทต่อเนื่องแนวตั้ง (VCP) แผงแอโนดขยายความกว้างของวัสดุพิมพ์เต็ม ลดการลาก-ออก และขจัดข้อจำกัดในการบำรุงรักษาแผ่นแข็ง

• ก้อนทอง/นิกเกิลสำหรับรถยนต์และอุปกรณ์กำลัง – การดำเนินการ-กระแสไฟฟ้า-ที่มีความหนาแน่นสูง (3–8 ASD) ศักยภาพที่สูงเกินไปต่ำจะช่วยลดความร้อนของอิเล็กโตรไลต์ จึงรักษาความเสถียรของอ่างอาบน้ำสำหรับการกระแทกขนาด 20–100μm

• การบำบัดหลังฟอยล์ทองแดงด้วยไฟฟ้า- – เส้นต่อเนื่องสำหรับฟอยล์ขนาด 6–18μm; ตาข่ายแบบขยายช่วยให้กระแสสม่ำเสมอตลอดความกว้างของราง 1400 มม. ในขั้นตอนการสร้างทู่แบบโครเมียม-

• การปรับปรุงเครื่องมือการชุบ – การทดแทนโดยตรงสำหรับ Lam Research, วัสดุประยุกต์, ระบบ NEXX; การเคลือบ Ir-Ta ให้ระยะเวลาการบริการที่ยาวนานกว่าแอโนดที่ใช้รูทีเนียมดั้งเดิม-

โทร : 0917-3873009

โทรศัพท์: +86 18992731201

อีเมล:zhangjixia@bjygti.com

แฟกซ์: 0917-3873009

ที่อยู่: No. 195, Gaoxin Avenue, เขตพัฒนาเทคโนโลยีขั้นสูง- เมืองเป่าจี มณฑลส่านซี ประเทศจีน

วอตส์แอปป์: +86 18992731201

ป้ายกำกับยอดนิยม: ตาข่ายขยายรูไทเทเนียม 2 * 3 มม. พร้อมการเคลือบ ir - ta สำหรับการชุบเซมิคอนดักเตอร์, จีน, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, ปรับแต่ง, การใช้งาน, รายการราคา, ขาย, ในสต็อก, ตัวอย่างฟรี, วัสดุที่มีรูพรุน