ตลับกรองผงสแตนเลสขนาด 5 ไมครอนพร้อมอินเทอร์เฟซ VCR 1/2"
video
ตลับกรองผงสแตนเลสขนาด 5 ไมครอนพร้อมอินเทอร์เฟซ VCR 1/2"

ตลับกรองผงสแตนเลสขนาด 5 ไมครอนพร้อมอินเทอร์เฟซ VCR 1/2"

วัสดุ: ผง 316L
ขนาด: φ40*196.3มม
ความแม่นยำของตัวกรอง: 5 ไมครอน
อินเทอร์เฟซ: VCR1/2"
ส่งคำถาม
การแนะนำสินค้า

ตลับกรองผงสแตนเลสที่มีอินเทอร์เฟซ VCR 1/2" เป็นส่วนประกอบที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับระบบจ่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง- ตลับกรองเหล่านี้ใช้เทคโนโลยีการเผาผงโลหะขั้นสูงเพื่อให้เกิดการกรองที่แม่นยำ โดยจับอนุภาคที่มีขนาดเล็กถึง 5 ไมครอนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงการส่งก๊าซในกระบวนการที่สะอาดเป็นพิเศษ- ซึ่งจำเป็นสำหรับการรักษาความสมบูรณ์ของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน อินเทอร์เฟซ VCR 1/2" ให้ -โลหะกันรั่ว-ถึง-ซีลโลหะ ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่ก๊าซเจือปนเพียงเล็กน้อยก็สามารถนำไปสู่ข้อบกพร่องที่สำคัญในอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ได้ โครงสร้างที่แข็งแกร่งจาก-สเตนเลสสตีลที่ทนทานต่อการกัดกร่อนรับประกันความทนทานและ-ความน่าเชื่อถือในระยะยาวภายใต้สภาวะที่รุนแรง

 

ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ ตลับกรองเหล่านี้มีบทบาทสำคัญในการปกป้องอุปกรณ์ปลายทาง เช่น ตัวควบคุมการไหลของมวลและวาล์วที่มีความแม่นยำจากการปนเปื้อนของอนุภาค ด้วยการผสานรวมเข้ากับท่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง-ที่มีอยู่อย่างราบรื่น ช่วยให้การติดตั้งและบำรุงรักษาทำได้ง่ายขึ้น ในขณะเดียวกันก็ลดการหยุดทำงานของระบบอีกด้วย การผสมผสานระหว่างประสิทธิภาพการกรองสูง ความทนทานต่อสารเคมีเป็นพิเศษ และการปิดผนึกที่เชื่อถือได้ ทำให้สิ่งเหล่านี้ขาดไม่ได้ในการรับรองความบริสุทธิ์ของก๊าซที่สม่ำเสมอและประสิทธิภาพการดำเนินงานในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง

 

ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

วัสดุ: ผง 316L
ขนาด: φ40*196.3มม
ความแม่นยำของตัวกรอง: 5 ไมครอน
อินเทอร์เฟซ: VCR1/2"
เทคนิค: การเผาผนึก

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและการกักเก็บอนุภาค
- โครงสร้างเหล็กสเตนเลสเผาผนึก (โดยทั่วไปคือ 316L) ให้ตัวกลางในการกรองที่เป็นโลหะทั้งหมดสะอาด โดยไม่มีสารยึดเกาะ กาว หรือสารตกค้างอินทรีย์
- สามารถกักเก็บอนุภาคขนาดต่ำกว่าไมครอนได้ถึง 0.5 μm ป้องกันการปนเปื้อนระดับไมโครไม่ให้เข้าถึงห้องกระบวนการหรือเวเฟอร์
- ไม่มีการไหลของอนุภาค ทำให้มั่นใจได้ถึงจำนวนอนุภาคที่เสถียรตลอดการใช้งานในระยะยาว

 

2. เสถียรภาพทางกลและความร้อนที่แข็งแกร่ง
- การออกแบบโลหะทั้งตัวทนทานต่อแรงดันสูง อุณหภูมิสูง และวงจรความร้อนบ่อยครั้ง
- รักษาความสมบูรณ์ทางกลภายใต้สภาวะการสั่นสะเทือน การไหลย้อนกลับ หรือการเต้นเป็นจังหวะของแรงดัน-สภาวะทั่วไปในระบบจ่ายก๊าซ
- เข้ากันได้กับการติดตามความร้อนสำหรับท่อก๊าซอุณหภูมิสูง

 

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

 

3. ล้างทำความสะอาดและสร้างใหม่ได้
- องค์ประกอบตัวกรองสามารถล้างย้อน ทำความสะอาดด้วยอัลตราโซนิก หรืออบในสุญญากาศ ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานเมื่อเทียบกับตัวกรองโพลีเมอร์หรือเซรามิก
- วงจรชีวิตโดยทั่วไปขยายไปถึง 5–10 เท่าของตัวกรอง PTFE หรือ PVDF แบบใช้แล้วทิ้ง ซึ่งช่วยลดเวลาหยุดทำงานและต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ

4. ความเข้ากันได้ทางเคมีและความต้านทานการกัดกร่อน
- 316เหล็กกล้าไร้สนิม L รักษาฟิล์มพาสซีฟออกไซด์ในสภาพแวดล้อมคลอไรด์ ฟลูออรีน แอมโมเนีย และก๊าซที่เป็นกรด
- พื้นผิวที่ไม่ทำปฏิกิริยาป้องกันการสกัดไอออนของโลหะหรือการเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบของก๊าซ

การใช้งาน

 

1. สายจ่ายก๊าซ UHP
- ติดตั้งในรางเลื่อนสำหรับส่งก๊าซจำนวนมาก ตู้แก๊ส และแผง VMB/VMP โดยกรองอนุภาคก่อนที่ก๊าซจะเข้าสู่ MFC หรือเครื่องมือในกระบวนการผลิต
- ใช้ในท่อก๊าซ N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ และท่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงอื่นๆ ที่ป้อนกระบวนการที่สำคัญ

 

2. การป้องกันทางเข้าของตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC)
- ป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาคและการสึกหรอของวาล์วในตัวควบคุมการไหลของมวลที่มีความแม่นยำ
- ปรับปรุงความเสถียรของการไหลในระยะยาวและความสม่ำเสมอในการสอบเทียบของ MFC

 

3. ห้องกระบวนการและช่องเติมก๊าซเครื่องมือ
- รับประกันการจัดส่งแบบไร้อนุภาคและความชื้นไปยังเตา CVD, ALD, etch และ diffusion
- ใช้ในสายการผลิต SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ และ TEOS ที่ความบริสุทธิ์มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อคุณภาพและผลผลิตของฟิล์ม

 

4. ระบบก๊าซพิเศษและสารตั้งต้น
- สำหรับก๊าซอินทรีย์ที่เป็นโลหะหรือก๊าซฮาโลเจนซึ่งความเฉื่อยของสารเคมีและความคงตัวของอุณหภูมิเป็นสิ่งสำคัญ
- มักวางไว้หลังเครื่องพ่นไอหรือเครื่องทำฟองเพื่อจับอนุภาคหรือหยดที่ควบแน่น

 

ติดต่อเรา
tel.png

โทร : 0917-3873009

phone.png

โทรศัพท์: +86 18992731201

envelope.png

อีเมล:zhangjixia@bjygti.com

fax.png

แฟกซ์: 0917-3873009

address.png

ที่อยู่: No. 195, Gaoxin Avenue, เขตพัฒนาเทคโนโลยีขั้นสูง- เมืองเป่าจี มณฑลส่านซี ประเทศจีน

address.png

วอทส์แอป: +86 18992731201

ป้ายกำกับยอดนิยม: ตลับกรองผงสแตนเลสขนาด 5 ไมครอนพร้อมอินเทอร์เฟซ vcr 1/2 ", จีน, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, ปรับแต่ง, การใช้งาน, รายการราคา, ขาย, ในสต็อก, ตัวอย่างฟรี, วัสดุที่มีรูพรุน

(0/10)

clearall