ตลับกรองไทเทเนียมรูพรุน 1um สำหรับการประมวลผลแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์

ตลับกรองไทเทเนียมที่มีรูพรุน 1um สำหรับการประมวลผลแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์ให้การกักเก็บอนุภาคในระดับสัมบูรณ์-ในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง ซึ่งเมมเบรนโพลีเมอร์จะบวมหรือเสื่อมสภาพ ผลิตจากผงไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง-ทางอุตสาหกรรมมากกว่าหรือเท่ากับ 99.4% ผ่านการกดไอโซสแตติกแบบเย็นและการเผาผนึกแบบสุญญากาศที่อุณหภูมิสูง- ตัวกรองซินเทอร์แบบผงโลหะนี้ทำให้ได้โครงสร้างที่มีรูพรุนขนาดเล็กสม่ำเสมอ โดยมีความพรุนตั้งแต่ 30-40% และการกระจายขนาดรูพรุนที่แคบ ในการกรองแบบแยกคาร์บอนออกจากการผลิตยา API ตัวกรองแท่งไทเทเนียมเผาขนาด 1μm จับกากคาร์บอนกัมมันต์ละเอียดและตัวเร่งปฏิกิริยาที่ละเอียดจากสุราแม่ที่มีความหนืดสูง- พร้อมความสามารถในการล้างย้อนกลับที่นำกลับมาใช้ใหม่ได้ ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานได้มากกว่าทางเลือกเมมเบรนหลายเท่า การผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบเปียก-รวมตัวกรองเผาผงไทเทเนียม 1um ในสายส่งสารเคมีสำหรับสตรีม SC-1, SC-2, 49% HF และHNO₃ โดยที่ซับสเตรตไทเทเนียมต้านทานการเกิดรูพรุนจากสภาพแวดล้อมที่มีคลอไรด์อุดมซึ่งกัดกร่อนเกรดสแตนเลส ระดับความแม่นยำ 1um จะขจัดอนุภาคที่มีซิลิกอนที่ประกอบด้วยซับไมครอนและสิ่งปนเปื้อนที่เป็นโลหะโดยไม่ทำให้อนุภาคหลุดออกไป โดยรักษาความบริสุทธิ์ของการกรองที่จำเป็นสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ระดับนาโนเมตร

การใช้งานลูปการบำบัดน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง-ใช้ตลับกรองไทเทเนียมที่มีรูพรุน 1um สำหรับการประมวลผลแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์เป็นการกรองเพื่อความปลอดภัยขั้นสุดท้าย ก่อนระบบการกรองแบบอัลตราฟิลเตรชันและระบบ EDI ซึ่งองค์ประกอบที่เผาด้วยผงไทเทเนียมสามารถทนต่อการฆ่าเชื้อด้วยโอโซนเป็นระยะๆ และไอน้ำ-ใน-การหมุนเวียนที่สูงถึง 280 องศาในสภาพที่เปียก ต่างจากตัวกรองเชิงลึกโพลีโพรพีลีนหรือตลับเมมเบรน PTFE ที่ทำให้อ่อนตัวหรือแยกตัวภายใต้วงจรความร้อน เมทริกซ์ไทเทเนียมเผาผนึกสุญญากาศ-ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของมิติตลอดช่วง pH 1-14 และทนทานต่อแรงดันต่าง ๆ สูงถึง 5.0 บาร์ โดยที่โครงสร้างรูพรุนไม่ยุบตัว ลูปการขัดสารละลาย CMP ในโรงงานขั้นสูงใช้ตลับกรองไททาเนียม 1μm หลัง-ขั้นตอนการดูดซับเรซินเพื่อดักจับอนุภาคที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่เกาะกลุ่มกันขนาดใหญ่เกินไป ขณะเดียวกันก็รักษาการกระจายขนาดอนุภาคที่ออกแบบทางวิศวกรรมของซิลิกาคอลลอยด์หรือสารละลายเซอเรีย คุณลักษณะไม่-ไม่หลุดออกของอนุภาคและความสามารถในการสร้างใหม่ออนไลน์ผ่านการฟลัชชิ่งหรือการทำความสะอาดอัลตราโซนิกทำให้สามารถนำกลับมาใช้ซ้ำได้ ช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนตัวกรองและต้นทุนการดำเนินงานในการทำงานแบบตั้งโต๊ะแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง

ระดับการกรองที่แม่นยำ – ตลับกรองไทเทเนียมที่มีรูพรุนขนาด 1 um ให้การกักเก็บอนุภาค-พิกัดสัมบูรณ์ในสายการผลิตแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์ โดยกำจัดสารตกค้างของซิลิกอนที่ต่ำกว่าไมครอน สิ่งปนเปื้อนที่เป็นโลหะ และอนุภาคคล้ายเจล-จากสารเคมีที่รุนแรง รวมถึง HF, HNO₃, SC-1 และ SC-2 โดยไม่ต้องมีการพัฒนาตัวกลาง

ความต้านทานการกัดกร่อนในช่วง pH ที่รุนแรง – ผลิตจากผงไทเทเนียมความบริสุทธิ์สูงมากกว่าหรือเท่ากับ 99.4%- ผ่านการเผาผนึกแบบสุญญากาศ ตลับกรองไทเทเนียมเผาผนึกนี้ทนทานต่อสภาพแวดล้อม pH 1-14 ต้านทานการกัดกร่อนแบบหลุมและคลอไรด์ที่ทำให้สเตนเลสหรือตัวกรอง Hastelloy เสื่อมสภาพอย่างรวดเร็วในระบบกระจายสารเคมีแบบตั้งโต๊ะแบบเปียก

ความเสถียรทางความร้อนสูงสำหรับวงจร DIW และ SIP ที่ร้อน – ตัวกรองซินเทอร์แบบผงไทเทเนียมทนทานการทำงานต่อเนื่องที่ 280 องศาในสภาพเปียก รองรับการฆ่าเชื้อด้วยไอน้ำ-ใน-แบบแทนที่ (SIP) และการล้างด้วยน้ำปราศจากไอออนแบบร้อนโดยไม่ทำให้อ่อนตัว หลุดร่อน หรือชะล้างสารที่สกัดได้ทั่วไปในตลับเมมเบรนโพลีโพรพีลีนหรือ PTFE

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0.5μm ทำให้เกิดข้อบกพร่องของอุปกรณ์ร้ายแรง

ความสามารถในการคืนสภาพการล้างย้อนที่ยอดเยี่ยม – ตลับกรองไทเทเนียมที่มีรูพรุนขนาด 1um รองรับการชะล้างย้อนกลับแบบออนไลน์ การทำความสะอาดอัลตราโซนิก และการสร้างกรดใหม่ ขจัดของแข็งที่ถูกจับ และฟื้นฟูอัตราการไหลเริ่มต้นในรอบการใช้ซ้ำหลายสิบรอบ ซึ่งช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนตลับหมึกและต้นทุนการดำเนินงานในโรงงาน-ที่มีปริมาณสูงได้อย่างมาก

ความทนทานต่อแรงดันที่แตกต่างสูง – เมทริกซ์ไทเทเนียมเผาผนึกสุญญากาศ-รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างรูพรุนภายใต้แรงดันต่าง ๆ สูงถึง 5.0 บาร์ ซึ่งมีประสิทธิภาพเหนือกว่าตัวกรองเมมเบรนที่พังหรือแตกในระหว่างกระแสไฟกระชากหรือเหตุการณ์การอุดตันในอุปกรณ์การประมวลผลแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์

สายจ่ายสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง-ในโรงงานผลิตแผ่นเวเฟอร์ – ติดตั้งในตัวกรองแบบจุด-ของ-การใช้งาน (POU) สำหรับสตรีม HF, HNO₃, NH₄OH, H₂SO₄ และ HCl 49% ตลับกรองไทเทเนียมเผาผนึก 1um จะขจัดอนุภาคโลหะระดับต่ำกว่าไมครอนและฝุ่นซิลิคอนก่อนที่จะมีม้านั่งเปียกและ-ตัวประมวลผลเวเฟอร์เดี่ยว

วงจรหมุนเวียนน้ำปราศจากไอออนโอโซน (DIO₃) – นำไปใช้เป็นการกรองเพื่อความปลอดภัยในเครื่องมือทำความสะอาดหลัง- CMP และเครื่องมือปอกตัวต้านทานแสง ตลับไทเทเนียมที่มีรูพรุนขนาด 1um ต้านทานความเข้มข้นของโอโซนได้สูงถึง 20 ppm และการสัมผัสรังสียูวีอย่างต่อเนื่อง โดยที่ตัวกรองโพลีโพรพีลีนจะเปราะและเยื่อ PTFE จะสูญเสียความสมบูรณ์ทางกล

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um) ในขณะที่ยังคงรักษาการกระจายของขนาดอนุภาคดั้งเดิมและศักยภาพซีตา โดยคงอัตราการกำจัดที่สม่ำเสมอ และอยู่ภายใน-ความไม่สม่ำเสมอของเวเฟอร์- (WIWNU)

การกรองน้ำเครื่องฟอกแบบกล่องแปรงถ่าน Post-CMP – ติดตั้งในท่อน้ำปราศจากไอออนที่ป้อนแปรง PVA เพื่อเก็บอนุภาคที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและไอออนทองแดงที่ตกค้างหลังจากการขัดแผ่นเวเฟอร์ ระดับสัมบูรณ์ 1um ป้องกันรอยขีดข่วนขนาดเล็กบนพื้นผิวทองแดงและพื้นผิวไดอิเล็กทริกต่ำ-k ระหว่างการสัมผัสแปรง

ตัวกรองความปลอดภัยขั้นสุดท้ายแบบวนน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) – วางไว้ข้างหน้าวาล์วจุด-ของ-การใช้งาน (POU) ในสถานีกัดและล้างแบบเปียก ตลับกรองผงไทเทเนียมทำงานใน UPW ที่ร้อน (80 องศา) และรอบการฆ่าเชื้อด้วยไอน้ำเป็นระยะๆ โดยไม่ทำให้อนุภาคหลุดออกไป รักษาการควบคุมแบคทีเรียและจำนวนอนุภาคให้ต่ำกว่าข้อกำหนดคลาส 1

อ่างชุบนิกเกิลและโคบอลต์แบบไม่ใช้ไฟฟ้าสำหรับชั้นกั้น/เมล็ดพืช – ผสานรวมเข้ากับแผ่นเลื่อนฟอกของอ่างชุบเพื่อขจัดการปนเปื้อนของอนุภาคออกจากสารเพิ่มความคงตัวและสารก่อให้เกิดสารเชิงซ้อน ไทเทเนียมเมทริกซ์ที่ต้านทานการกัดกร่อน-ทำงานที่อุณหภูมิที่สูงขึ้น (70-90 องศา ) และ pH ที่เป็นด่าง โดยไม่มีการเปราะของไฮโดรเจนหรือการปนเปื้อนจากอ่างอาบน้ำ

โทร : 0917-3873009

โทรศัพท์: +86 18992731201

อีเมล:zhangjixia@bjygti.com

แฟกซ์: 0917-3873009

ที่อยู่: No. 195, Gaoxin Avenue, เขตพัฒนาเทคโนโลยีขั้นสูง- เมืองเป่าจี มณฑลส่านซี ประเทศจีน

วอทส์แอป: +86 18992731201

ป้ายกำกับยอดนิยม: ตลับกรองไทเทเนียมที่มีรูพรุน 1um สำหรับการประมวลผลแบบเปียกของเซมิคอนดักเตอร์, จีน, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, ปรับแต่ง, การใช้งาน, รายการราคา, ขาย, ในสต็อก, ตัวอย่างฟรี, วัสดุที่มีรูพรุน